下载直拉硅单晶生长过程可视化系统构建方法的技术资料

文档序号:40536337

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本发明公开了一种直拉硅单晶生长过程可视化系统构建方法,通过云平台将前端用户交互界面和后端核心数据处理中心连接。系统总体设计包含可视化层、业务层和数据层三个部分,能够对直拉硅单晶生长全过程进行实时、高保真可视化模拟和状态监控。本发明建立了直拉...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。

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