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一种晶棒清洗助力装置，属于晶棒加工技术领域，包括升降机构、晶棒装载机构，所述晶棒装载机构安装在升降机构上方，通过升降机构调节晶棒装载机构的高度；所述晶棒装载机构用于实现晶棒的旋转及横向移动，其包括V型装载平台、轮板、牛眼轮滚珠、驱动电机、旋...
该专利属于宁夏申和新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏申和新材料科技有限公司授权不得商用。

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