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本发明公开了一种晶体自动化生长系统,包括炉体、控制盒、真空泵、原料输送机构、旋转提升机构、晶杆输送机构、晶杆更换机构、晶体取出机构、取料驱动机构以及加热坩埚机构。该晶体自动化生长系统利用晶杆输送机构与晶杆更换机构的配合,能够向旋转提升机构自...该专利属于盐城市晶汇电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盐城市晶汇电子材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种晶体自动化生长系统,包括炉体、控制盒、真空泵、原料输送机构、旋转提升机构、晶杆输送机构、晶杆更换机构、晶体取出机构、取料驱动机构以及加热坩埚机构。该晶体自动化生长系统利用晶杆输送机构与晶杆更换机构的配合,能够向旋转提升机构自...