下载可移动式真空系统及其应用的技术资料

文档序号:40525124

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本发明公开了一种可移动式真空系统及其应用,可移动式真空系统包括:连接管路、接口、冷阱、真空设备、真空测量器、第一阀门及控制仪。其中,连接管路,包括第一管路和第二管路;冷阱,冷阱包括进口端和出口端,进口端通过第一管路与接口相连通;真空设备包括...
该专利属于江苏南大光电材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏南大光电材料股份有限公司授权不得商用。

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