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本发明涉及半导体激光器技术领域，提供了一种半导体激光器的垂直深脊的制作方法。还提供一种半导体激光器。本发明采用干法刻蚀和多次湿法刻蚀以及多次表面处理方式相结合的方法，制作出垂直度较好，侧壁平整光滑的深脊，满足高性能半导体激光器长期可靠性要求...
该专利属于武汉光安伦光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉光安伦光电技术有限公司授权不得商用。

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