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本发明属于保护性气体置换领域，具体的说是一种单晶炉炉内使用气回收工艺，该工艺包括以下步骤：S1：检测置换设备和管道，确定置换设备和管道各个部件是否正常，各个部件连接处是否发生泄漏，在工作过程中，对于打开过的副室，先采用氮气进行置换里面的空气...
该专利属于江苏珠合新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏珠合新能源科技有限公司授权不得商用。

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