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本发明提供了一种基于神经网络PID控制算法的质量流量控制系统和方法，包括：压力传感单元、流量传感单元、流量控制阀、控制单元和气体流道；压力传感用于检测流入所述气体流道的气体的压力，并将压力检测信号前馈至控制单元；流量传感单元用于将检测到的流...
该专利属于常州高凯电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州高凯电子有限公司授权不得商用。

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