下载具备复合阻挡结构的深紫外发光二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:40502946

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本发明提供了一种具备复合阻挡结构的深紫外发光二极管及其制备方法,深紫外发光二极管包括沿生长方向依次层叠设置的衬底、本征层、电子注入层、电流扩展层、量子阱有源层、电子阻挡层、空穴注入层以及欧姆接触层,电子阻挡层包括多个周期结构,每个周期结构沿...
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