温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明一种无界面纤锌矿铁电氮化物存储器，包括相接触的氮化物半导体衬底、纤锌矿铁电介质层；利用纤锌矿铁电材料与氮化物衬底材料之间良好的晶格匹配，通过原位溅射工艺、原子层沉积工艺或外延生长工艺在氮化物半导体衬底上直接生长纤锌矿铁电介质层，最终实...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。