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本发明涉及循环清洗系统技术领域，尤其涉及一种适用于功率模块的循环清洗系统，包括依次排列的蒸发槽、进料平台、清洗槽和出料平台；所述蒸发槽与所述清洗槽之间由回流管一连通，所述蒸发槽还依次连通有抽风管和冷却管，所述冷却管的末端安装有回收盘，所述清...
该专利属于广东汇芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汇芯半导体有限公司授权不得商用。

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