下载一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构及其稳定方法的技术资料

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本发明公开了一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构及其稳定方法,应用在单晶炉技术领域,本发明通过设置稳定系统,控制中枢可以对检测模组和纠正模组进行控制,检测模组可以对稳定机构内籽晶轴的偏心轴转动进行检测,并且将信息传输给纠正模组,纠正模组可以对信...
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