下载一种基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置及方法的技术资料

文档序号:40468431

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本发明公开一种基于快反镜的三角环形衰荡腔自动对准装置及方法,所述自动对准装置包括:用于产生激光光束的激光光源,用于对激光光束进行调整的光路机构,用于对经光路机构调整后的光束进行倾斜失调误差和轴移失调误差对准、子午与弧矢平面的调节、大量程粗调...
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