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该发明属于金属基薄膜热电偶及其生产方法。其热电偶包括待测金属基板及设于其顶面的ＮｉＣｒＡｌＹ合金过渡层，过渡层以上依次为金属铝层、ＡｌＮ层、ＡｌＮ陶瓷绝缘层、热电偶薄膜电极组以及氧化铝保护层；其生产方法为待测金属基板的处理，制备带ＮｉＣｒＡ...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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