下载一种定向调控微纳结构中功能单元和/或结构阵列的方法的技术资料

文档序号:40468013

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本发明公开了一种定向调控微纳结构中功能单元和/或结构阵列的方法,属于微纳光子学和微纳集成制造技术领域,本发明通过在微纳结构上增加预先设计的固定块以使微纳结构中某一功能单元和/或结构阵列实现定向调控,所述微纳结构为二维微纳结构和/或三维微纳结...
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