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本发明公开了一种狭缝涂布设备，包括相连通的上腔室和下腔室；上腔室的顶部设有用于送风的FFU层流送风单元；下腔室外接有排风系统；上腔室内设有用于承载基板的气浮料台组件，气浮料台组件装配在上腔室底部设有的导轨组件上，气浮料台组件的上方装配有刀头...
该专利属于浙江御辰东智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江御辰东智能科技有限公司授权不得商用。

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