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本申请公开了一种等离子刻蚀机及其下电极系统，该等离子刻蚀机的下电极系统包括基础单元、升降单元和载物单元，基础单元包括下电极，基础单元的顶部设置有容置槽；升降单元包括位于容置槽中部的第一升降装置和位于容置槽外部的第二升降装置，第一升降装置的上...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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