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本发明提供一种晶圆缺陷检测方法、系统、电子设备以及存储介质，该方法包括获取目标晶圆图像；利用预先训练的二分类检测模型对所述目标晶圆图像进行处理，得到所述目标晶圆图像对应的初始缺陷检测结果，其中，所述初始缺陷检测结果包括初始缺陷类型、缺陷检测...
该专利属于魅杰光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过魅杰光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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