温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的曝光装置具备：照明光学系统；空间光调变器，被来自照明光学系统的光所照明；投影光学系统，将自空间光调变器射出的光照射至曝光对象；载台，载置曝光对象，使曝光对象与投影光学系统于既定的扫描方向相对移动；及控制部，控制空间光调变器。空间光调...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。