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一种射频处理装置及加工系统制造方法及图纸
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文档序号:40429934
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本发明提供一种射频处理装置,其包括:射频发射器;匹配组件,所述匹配组件包括移动极板组以及固定极板组;补偿组件,所述补偿组件包括射频馈线以及补偿电感;工作组件,所述工作组件包括上极板以及下极板,所述上极板连接所述射频馈线,所述下极板接地且与所...
该专利属于无锡旭洲智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡旭洲智能科技有限公司授权不得商用。
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