下载一种射频处理装置及加工系统的技术资料

文档序号:40429934

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本发明提供一种射频处理装置,其包括:射频发射器;匹配组件,所述匹配组件包括移动极板组以及固定极板组;补偿组件,所述补偿组件包括射频馈线以及补偿电感;工作组件,所述工作组件包括上极板以及下极板,所述上极板连接所述射频馈线,所述下极板接地且与所...
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