下载降低200mm半导体级单晶硅缺陷的拉晶方法的技术资料

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一种降低200mm半导体级单晶硅缺陷的拉晶方法,该方法包括以下步骤:步骤1:设计至少两种用于对200mm半导体级单晶硅进行拉制的热场,得到对应各热场的热场参数;步骤2:分别针对设计的每个热场,利用各热场的热场参数进行仿真模拟,得到仿真模拟结...
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