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双基板和压电层形成三明治结构的石英谐振器及电子器件制造技术
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下载双基板和压电层形成三明治结构的石英谐振器及电子器件的技术资料
文档序号:40428193
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本发明涉及一种石英谐振器,包括:底电极,顶电极和石英压电层,所述石英压电层为包括凸台的反高台结构;封装结构,包括第一封装基板、第二封装基板和接合密封层,其中:所述接合密封层包括压电层封装部,所述压电层封装部为石英压电层的一部分,所述压电层封...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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