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本发明公开了一种基于压电薄膜调制的MEMS红外光源组件及检测装置，该红外光源组件包括硅衬底、支撑层、第一金属层、压电材料层、第二金属层、隔离层、发热材料层、绝缘层、红外辐射材料层、压电电极及发热电极；硅衬底中央设有衬底通孔，支撑层覆盖设置于...
该专利属于深圳市美思先端电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市美思先端电子有限公司授权不得商用。

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