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耦合微波等离子体诊断功能结构的内绝缘失效状态的器件制造技术
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下载耦合微波等离子体诊断功能结构的内绝缘失效状态的器件的技术资料
文档序号:40426758
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本发明公开耦合微波等离子体诊断功能结构的内绝缘失效状态的器件,包括导体封闭腔;第一微波波导设于其中一个第一通孔或第二通孔内;第二微波波导设于另一个第一通孔或第二通孔内;第一绝缘介质设置于导体封闭腔内;微波透过异放通道由透波绝缘介质材料构成,...
该专利属于上海摩仑工业技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海摩仑工业技术有限公司授权不得商用。
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