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垂直固态装置制造方法及图纸
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下载垂直固态装置的技术资料
文档序号:40425615
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本申请涉及垂直固态装置。随着光电子装置的像素密度变得更高,且所述光电子装置的大小变得更小,隔离个别微型装置的问题变得更困难。一种制作包含微型装置阵列的光电子装置的方法包括:在衬底上形成包含单片式有源层的装置层结构;在所述装置层结构上形成界定...
该专利属于维耶尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过维耶尔公司授权不得商用。
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