下载一种生长加厚β相氧化镓单晶的方法及模具的技术资料

文档序号:40424610

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本发明涉及一种生长加厚β相氧化镓单晶的方法及模具,模具和坩埚在酒精中清洗晾干放进铱金处理炉,抽真空充入二氧化碳,加热,保温后取出模具和坩埚;将模具固定入坩埚;浸入酒精中清洗晾干放进铱金处理炉中,抽真空,充入二氧化碳,加热,保温后取出将模具和...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。

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