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本发明公开了一种基于Transformer网络的半导体材料工厂能耗预测方法，包括以下步骤：初始数据集采集，预处理后提取特征矩阵；对建立一个带有多头注意力机制的编码器‑解码器的Transformer模型，其中，编码器部分用于输入时间序列的历史...
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