下载一种单轴微机电陀螺仪的技术资料

文档序号:40418848

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本发明涉及陀螺仪技术领域,公开一种单轴微机电陀螺仪,包括:第一锚点和驱动连接梁,驱动连接梁与第一锚点相连;驱动耦合组件和驱动质量块,驱动质量块通过驱动耦合组件相连;检测连接梁和检测质量块,每个检测质量块均通过检测连接梁与驱动质量块相连;包括...
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