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本申请提供一种基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的基台及基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的方法;包括基台底座,用于支撑基台;屏蔽基台,用于包裹单晶金刚石基片侧面;可移动基台,内嵌在屏蔽基台的中部,用于承载单晶金刚石基片并相对于屏蔽基台进行...该专利属于广东省新兴激光等离子体技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广东省新兴激光等离子体技术研究院授权不得商用。
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