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本申请提供了一种基于流程挖掘的问题机台预测方法、设备及计算机可读介质，包括如下步骤：采集静态数据，并进行特征提取和特征筛选，经训练得到机台预测模型A；采集动态数据，使用流程挖掘方法提取流程数据，并对流程数据进行特征提取和特征筛选，经训练得到...
该专利属于上海朋熙半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海朋熙半导体有限公司授权不得商用。

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