下载一种周边离焦镜片的特征测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:40417366

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本发明公开了一种周边离焦镜片的特征测量装置及测量方法,包括共用光路、全口径对称结构光学测量装置、光学干涉测量装置及聚焦特性光学检测装置;全口径对称结构光学测量装置用于对周边离焦镜片的全口径成像,以观测微结构是否有损坏;光学干涉测量装置用于对...
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