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本发明提出的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测方案，解决的问题是因不同禁带宽度的材料的检测需求不同而导致的检测范围的局限性问题及实现该方案的障碍。本发明，首先有适用范围的提升。双光源系统不仅能对材料的能带结构做精确测量，而且能够针对...
该专利属于上海微崇半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微崇半导体设备有限公司授权不得商用。

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