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基于声表面波原位注入的分子束外延生长台及其实现方法技术
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下载基于声表面波原位注入的分子束外延生长台及其实现方法的技术资料
文档序号:40415246
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本发明公开了一种基于声表面波原位注入的分子束外延生长台及其实现方法。本发明的分子束外延生长台包括声表面波发生器和供电支架;本发明的分子束外延生长台能够直接应用于真空分子外延生长设备中生长半导体晶体,供电支架为表面波发生基底以无线射频形式提供...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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