下载压力传感器及压力传感器的制造方法的技术资料

文档序号:4040692

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本发明涉及压力传感器及压力传感器的制造方法,能够防止因漏电流引起的特性异常。该压力传感器(100)具备:形成有扩散电阻布线(6)的第2半导体层(3)、形成在第2半导体层(3)上的绝缘层(7)、形成在绝缘层(7)上的外部导电部(8)。在绝缘膜...
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