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本发明公开了一种团簇束流传输装置及团簇催化剂制备设备，其中团簇束流传输装置包括透镜组及线性八极杆，透镜组包括若干个沿第一方向布置的第一透镜，第一透镜的中心轴沿第一方向延伸，第一透镜具有沿第一方向贯穿的第一通过腔，第一通过腔用于供团簇束流通过...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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