下载一种镀膜室分隔屏蔽板的技术资料

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本技术公开了一种镀膜室分隔屏蔽板,涉及真空镀膜技术领域,包括转件屏蔽盘,转件屏蔽盘的上表面中心处设有主动齿轮,转件屏蔽盘的上表面上沿中心处向边缘处发散分布有多排螺纹孔,转件屏蔽盘通过上表面的螺纹孔可拆卸连接有分隔屏蔽板;转件屏蔽盘的上表面上...
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