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本发明公开了一种图形化硼硅高效同步共掺杂的金刚石核探测器的制备方法，包括：选取高纯本征金刚石衬底；在衬底的上下表面分别淀积氮化硼薄膜；在氮化硼薄膜上进行选择性的图形化刻蚀直至金刚石表面；在执行完图形化刻蚀的区域内淀积硅薄膜，得到含有氮化硼和...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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