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本发明公开了一种基于分子动力学的离子注入材料时粗糙度仿真方法，包括：S1.根据设定的三维粗糙度参数Sq的值构建研究材料的表面点高度矩阵M；S2.构建研究材料的光滑表面靶体模型，并根据研究材料的表面点高度矩阵M，将光滑表面靶体模型变化为粗糙表...
该专利属于中南大学所有，仅供学习研究参考，未经过中南大学授权不得商用。

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