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本技术涉及一种氮化硅除气转子，包括第一转子轴、第二转子轴和转子，第一转子轴的底部固定连接有第一连接板,第一连接板的外侧对称固定连接有两个卡杆，第二转子轴的内部对称开设有两个插槽，第二转子轴的内部且位于相对应插槽的一侧均开设有相连接的定位槽，...
该专利属于埃克诺新材料（大连）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃克诺新材料（大连）有限公司授权不得商用。

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