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本发明公开一种磁控偏压等离子体增强化学气相沉积装置，包括腔体、上电极板、基片电极、下电极板、射频电源、直流电源、绝缘体及磁体组件；下电极板包括隔离板部和电离板部，隔离板部将腔体分隔呈相互独立的电离腔室及沉积室；电离腔室被电离板部分隔呈电离区...
该专利属于黄剑鸣所有，仅供学习研究参考，未经过黄剑鸣授权不得商用。

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