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本技术公开了一种晶圆双面金属自动检测装置，涉及到检测设备技术领域，一种晶圆双面金属自动检测装置，包括机座和晶圆，所述机座内部分别安装有位置调节机构和驱动机构并左右设置，所述位置调节机构一端与驱动机构一端相连接，另一端贯穿出所述机座顶部并与机...
该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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