下载氢计的标定方法及标定装置的技术资料

文档序号:40382012

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本申请实施例提供了一种氢计的标定方法及标定装置。氢计包括测量腔、氢渗透结构、质谱仪以及含有离子泵的高真空系统,测量腔用于接收含氢的标定气体,氢渗透结构位于测量腔内,高真空系统用于为氢渗透结构提供高真空环境以使标定气体中的氢气渗透进入氢渗透结...
该专利属于中国原子能科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。

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