下载一种无浮栅层闪存及其制备方法的技术资料

文档序号:40381897

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本发明提供一种无浮栅层闪存,包括:控制栅极、设置于所述控制栅极上的栅极氧化物、设置于所述栅极氧化物上的半导体层和设置于所述半导体层上的源漏电极。其中,所述半导体层包含纳米材料;所述纳米材料包括用于捕获电荷的内核和包裹在所述内核表面的绝缘外壳...
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