下载氢气传感器、传感方法以及传感系统的技术资料

文档序号:40377851

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本发明公开了一种氢气传感器、传感方法以及传感系统。所述氢气传感器包括肖特基结,金属表面设置有微结构;在光线照射下,肖特基结能够产生光电势,微结构能够产生表面等离子体共振;当氢扩散至半导体材料层和金属层的界面时,所述光电势发生变化。本发明利用...
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