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光学检测系统技术方案
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文档序号:40373274
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本技术公开了光学检测系统。一种光学检测系统包括扫描台、Wolter镜和探测器。扫描台用于承载待测的样品,并且布置成使样品能够被入射光照射以产生反射光和散射光。Wolter镜布置成使反射光和散射光掠入射到Wolter镜并反射掠入射的光。探测器...
该专利属于张江国家实验室所有,仅供学习研究参考,未经过张江国家实验室授权不得商用。
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