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本发明涉及一种半导体微型气体传感器及其制备方法。上述半导体微型气体传感器包括基底以及设置在所述基底上的多个传感单元，所述传感单元包括电极组件以及连接于所述电极组件的气敏膜，所述气敏膜的材料包括金属掺杂的金属氧化物，至少有两个所述传感单元的所...
该专利属于南方电网数字电网研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南方电网数字电网研究院有限公司授权不得商用。

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