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本发明公开了一种基于日晷原理的太阳能追随微机电传感器及制备方法，包括衬底层(4)，衬底层(4)上设有二氧化硅层，二氧化硅层上设有电极层(2)以及由CdS薄膜构成的日晷盘刻度(3)，所述日晷盘刻度(3)与所述电极层(2)连接；所述日晷盘刻度(...该专利属于爱科赛智能科技（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱科赛智能科技（浙江）有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种基于日晷原理的太阳能追随微机电传感器及制备方法，包括衬底层(4)，衬底层(4)上设有二氧化硅层，二氧化硅层上设有电极层(2)以及由CdS薄膜构成的日晷盘刻度(3)，所述日晷盘刻度(3)与所述电极层(2)连接；所述日晷盘刻度(...