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一种片上集成的直波导型可变光衰减器制造技术
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文档序号:40366334
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本发明公开一种片上集成的直波导型可变光衰减器,包括下包层、布置在所述下包层上的光波层、包覆光波层的上包层,以及位于上包层上或侧壁或上包层内部的电极;光波层包含一个输入波导、一个衰减波导和一个输出波导;输入波导作为整体器件的输入,输出波导作为...
该专利属于西湖大学所有,仅供学习研究参考,未经过西湖大学授权不得商用。
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