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一种低参数敏感性的1×1双梯形多模干涉耦合器结构制造技术
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文档序号:40355775
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本申请实施例涉及平面光波导集成器件技术领域,特别涉及一种低参数敏感性的1×1双梯形多模干涉耦合器结构,包括:包层和沿光传播的方向依次排布的单模输入波导、多模干涉区波导、单模输出波导;单模输入波导和单模输出波导均为直波导;多模干涉区波导为双梯...
该专利属于长春理工大学重庆研究院所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学重庆研究院授权不得商用。
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