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本申请涉及一种表面光波导相位调制器、方法、设备及存储介质，其中，表面光波导相位调制器包括石墨烯片、介质衬底与背栅电极；所述石墨烯片用于引导石墨烯等离激元进行传播，并产生相位调制；所述介质衬底用于托衬所述石墨烯片；所述背栅电极设置于所述介质衬...该专利属于华中光电技术研究所（中国船舶集团有限公司第七一七研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过华中光电技术研究所（中国船舶集团有限公司第七一七研究所）授权不得商用。