下载一种硬质耐磨TaN/MoS2复合涂层及其制备方法的技术资料

文档序号:40347351

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于涂层领域,具体涉及一种硬质耐磨TaN/MoS<subgt;2</subgt;复合涂层及其制备方法。本发明以Ta靶和MoS<subgt;2</subgt;靶作为靶材,N<subgt;2</subg...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。